报告题目： 集成电路量测技术现状及发展趋势

报 告 人：周维虎 研究员

工作单位：中国科学院微电子所 

报告时间：2023年2月14日（星期二）9:00-11:00

报告地点：科技楼225会议室

举办单位：js33333金沙线路检测/测量理论与精密仪器安徽省重点实验室

报告简介：

集成电路量测技术现状及发展趋势

报告人简介：

周维虎，中国科学院微电子所二级研究员、博导、光电技术研发中心主任。先后参与国家载人航天发展战略、国家02重大专项、863对地观测与导航定位领域发展战略、国家自然基金委重大仪器专项发展战略、科技部科学仪器重大科技任务“十三五”实施方案、科技部先进制造重大科技任务“十三五”实施方案、中科院重点科技计划等论证与编写工作。主要从事光电精密仪器及精密测试研究工作，主持过国家科技部重大科学仪器专项、国家支撑计划、自然基金委重大仪器专项、总装创新基金、国防科工委基础科研、科工局民用航天、航空航天部预研、上海世博会重点项目等50余项课题研究项目。获得省部级科技奖励8项，发表论文160余篇，申请专利40余项，编写教材1部，起草国家计量检定规程和规范4部。